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超纯去离子水(DIW))加热系统

功率 : 40 KW-225 KW

电压 : 200 VAC-480 VAC, 3-ph

*高温度 : 90°C

温控精度 : +/-1°C(厂务在入口提供温度、流量稳定的DIW前提下)

*大流量 : 4OL/min

进水压力 : 0.2MPa-1MPa


概述

产品介绍

超纯去离子水(DIW)加热系统,与液体接触的表面全部是超纯PVDF/PFA材料,确保整个加热过程的超纯条通过PLC温度*控制技术,提供稳定、*的温度输出功率范围从40KW到225KW。

产品主要组成部分

  • 加热元件: 去离子加热系统通常包括一个或多个加热元件,用于升温。
  • 温度控制器: 系统配备了高精度的温度控制器,以确保去离子水的温度保持在所需的范围内。这对于半导体工艺和其他高精度应用非常重要。
  • 高纯度水供应: 我司配有高纯度水用于测试,保证设备出厂的管道洁净度
  • 管道和连接件: 用于输送DIW的管道和连接件通常采用高纯度材料,以减少污染的风险。
  • 安全设备:去离子加热系统通常配备了安全设备,如液位传感器、温度传感器和过热保护,以防止意外泄漏或过热情况。其中包含:液位传感器,热熔断,接地故障断路器,压力安全阀,流量传感器,PLC控制

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